馬爾粗糙度輪廓儀LD 260

產(chǎn)品特點 :
l  高速移動和定位
l  130mm/260mm長測量行程以及大測頭測量范圍
l  創(chuàng)新測針系統(tǒng)以及仿生學(xué)測臂設(shè)計
l  磁性的測臂夾持裝置和測臂識別裝置
l  粗糙度和輪廓度二合一
l  基于友好服務(wù)理念的模塊化設(shè)計

技術(shù)參數(shù):
水平軸的特征：
?  行程長度(Lt)：0. mm to 260 mm
?  定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s
?  測量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測量推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s
?  X方向取樣間距：0.05 μm至30 μm,可調(diào)整
?  每次測量最多測量點：5200000點
?  分辨率：0.8 nm
?  X軸測量的不確定度：± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm
測頭系統(tǒng)特征：
?  測頭測量范圍：26 mm (200 mm測臂)
?  分辨率：0.8mm
?  測量力：0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設(shè)置
殘余誤差 Rz0, Rq0：
?  vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差：Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical
輪廓：
?  距離測量顯示誤差：± (1.0+l / 150) μm; l 單位 mm
?  半徑測量顯示誤差：(R ≤ 10 mm) ± 1 μm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) μm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) μm